ALD上下料机
产品特点
最高产能可达到16000pcs/h
可根据客户需求进行配置
特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，减少硅片划伤，保证设备的稳定性
| ALD上下料机技术参数 | |
|---|---|
| 技术参数 | 相关参数 |
| 产能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 金属舟规格 | 200槽 ，节距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 适用花篮 | 100 casstte |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 开机率 | ≥98% |
| 耗气量 | 1000L/min |
| 具体参数如有变动，本公司不另行通知！ | |
最高产能可达到16000pcs/h
可根据客户需求进行配置
特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，减少硅片划伤，保证设备的稳定性
| ALD上下料机技术参数 | |
|---|---|
| 技术参数 | 相关参数 |
| 产能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 金属舟规格 | 200槽 ，节距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 适用花篮 | 100 casstte |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 开机率 | ≥98% |
| 耗气量 | 1000L/min |
| 具体参数如有变动，本公司不另行通知！ | |
